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伊測產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:GL-1型二探針單晶硅及多晶硅測試儀

  • 產(chǎn)品型號:GL-1
  • 產(chǎn)品廠商:上海虹運(yùn)檢測
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
GL-1型二探針單晶硅及多晶硅測試儀 本儀器主要用于測量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況,以便硅材料的切割和加工。
詳情介紹:

GL-1型二探針單晶硅及多晶硅測試儀簡介
      本儀器主要用于測量大直徑的單晶硅和多晶硅的電阻率分布情況,以便硅材料的切割和加工。
    為適應(yīng)大規(guī)模集成電路的迅猛發(fā)展,特別是計(jì)算機(jī)芯片、內(nèi)存的發(fā)展,越來越多的使用到了大直徑、高純度、均勻度更高的單晶硅材料。目前,在美國、德國等先進(jìn)的工業(yè)國家,均采用了二探針法,使用二探針檢測儀來測量大直徑單晶硅的電阻率分布情況。
    本儀器符合美國ASTM “F391-77”關(guān)于二探針測量硅單晶試驗(yàn)方法》的標(biāo)準(zhǔn),是一種新型的半導(dǎo)體電阻率測試儀,適合半導(dǎo)體材料廠和器件廠用于二探針法**測量單晶硅和多晶硅半導(dǎo)體棒狀材料的體電阻率,從而進(jìn)一步判斷半導(dǎo)體材料的性能,指導(dǎo)和監(jiān)視工藝操作,也可以用來測量金屬材料的電阻,儀器具有測量精度高、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便、造型美觀等特點(diǎn)。也可以配四探針測試頭作常規(guī)的四探針法測量硅晶體材料。
    儀器分為儀表電氣控制箱、測試臺、探頭三部分,儀表電氣控制箱由高靈敏度直流數(shù)字電壓表、高抗干擾高隔離性能的電源變換裝置、高穩(wěn)定高精度恒流源和電氣控制部分組成。測量結(jié)果由大型LED數(shù)字顯示,零位穩(wěn)定、輸入阻抗高,并設(shè)有自校功能。在棒狀材料使用二探針法測試時(shí),具有系數(shù)修正功能,從面板輸入相應(yīng)的修正系數(shù),可以直接讀出電阻率,使用方便。測試臺結(jié)構(gòu)新穎,造型美觀,可以方便地固定好大小任意尺寸的樣品,并可以作逐點(diǎn)選擇步進(jìn)測量,也可以自由選擇固定位置測量,電極活動自如,具備鎖定裝置,方便重復(fù)測量。另外還配置了二處記錄板和轉(zhuǎn)椅,測試探頭能自動升降,探針為碳化鎢材料,配置寶石軸承,具有測量精度高、游移率小、耐磨、使用壽命長特點(diǎn)。同時(shí)探頭壓力恒定并且可調(diào)整,以適合不同的材料。
 
儀器主要技術(shù)指標(biāo):
1.可測硅材料尺寸:
     直徑Φ25~Φ150mm滿足ASTM F-397的技術(shù)要求。
     長度:100~1100mm.
2.測量方式:軸向測量,每隔10mm測量一點(diǎn)。
3.測量電阻率范圍:10-3~103Ω-cm,可擴(kuò)展到105Ω-cm。
4.數(shù)字電壓表:
    1)量    程:0.2mV、2mV20mV、200mV2V
    2)測量誤差:±0.3%讀數(shù)±2
    3)輸入阻抗:0.2mV2mV>106Ω
                  20mV檔及以上>108Ω
    4)顯    示:31/2LED數(shù)字顯示,范圍0~1999
5.恒流源:
    1)電流輸出:直流電流0~100mA連續(xù)可調(diào)。
    2)量    程:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA
    3)電流誤差:±0.3%讀數(shù)±2
6.二探針測試裝置:
    1)探針間距:4.77mm
    2)探針機(jī)械游移率:0.3%
    3)探針壓力:0~2kg可調(diào)
    4)測試探頭自動升降
7.二探針測試臺
    1)測試硅單長度:100-1100mm
    2)測試點(diǎn)間距:10mm
    3)測試臺有慢、快二種移動速度,快速移動速度為1000mm/分(均勻
手動)
8.電源:交流220V±10%50HZ±2HZ,消耗功率<150W
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